能量色散X射線分析是確認物質中微量元素的品種和含量的一種辦法，又稱X射線次級發射光譜剖析，是使用原級X射線光子或其它微觀粒子激起待測物質中的原子，使之產生次級的特征X射線(X光熒光)而進行物質成分剖析和化學態研討。

 

　　原理

 

　　能量色散X射線分析時，試樣能夠被激起出各種波長的熒光X射線,需要把混合的X射線按波長(或能量）分開，別離丈量不同波長(或能量）的X射線的強度，以進行定性和定量剖析，為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。

 

　　原子結構由原子核及核外電子組成，每個核外電子都以特定的能量在固定軌道上運行。當能量高于原子內層電子結合能的高能X射線與原子產生磕碰時，驅趕一個內層電子(如:K層)而出現一個空穴，使整個原子結構處于不穩定狀況，較外層電子(如:L層)就會自發地躍遷到內層來填充這個空穴。不同殼層之間存在能量差(如:LE=EL-EK)，當躍遷過程中能量差以二次X射線的形式釋放出來時就能夠發射特征X射線熒光。

 

　　每一種元素都有其特定波長（或能量）的特征X射線。由Moseley定律可知，元素的熒光X射線的波長(λ）隨元素的原子序數(Z)添加，有規則地向短波方向移動。

 

　　(1/λ)1/2=K(Z-S)

 

　　上式中K、S為常數，隨譜系(L、K、M、N)而定。經過測定樣品中熒光X射線的波長，就能夠確認樣品中元素的品種信息。這就是X射線熒光光譜定性剖析。

 

　　元素特征X射線的強度與該元素在樣品中的原子數量成份額。經過丈量樣品中某種元素熒光X射線的強度，采用適當的辦法進行校準與校對，就能夠求出該元素在樣品中的百分含量。這就是X射線熒光光譜定量剖析。